plasma處理系統SAT-5D；采用皮拉尼真空技術，實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度，具有1Pa的真空分辨率，能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀，實現對氣體流量和真空度的控制和監測。

Plasma等離子清洗機；應用領域：等離子清洗器廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域

高頻中型Plasma 處理儀SAOT-12D;應用領域：等離子清洗器廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫學、微觀流體學等領域

紫外臭氧清洗機（UVO）應用案例包括:表面清潔、薄膜沉積、紫外光刻、表面殺菌、AFM/STM探針清潔、UV化學反應、光學部件的清潔、改善樣品表面親水性、去除表面單分子層、表面氧化、表面刻蝕/縮微成像等。

YZD08-2C等離子清洗器廣泛應用于科學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生命醫學、微觀流體學等領域。